微桥相关论文
研究了用Mn--Co--Ni--O薄膜材料制备的热敏红外探测器件,并主要通过调控衬底热导改进了器件性能。对于较薄的探测元,研究了具有微桥......
采用飞秒激光器制备了基于第二代高温超导带材(REBCO)的微桥结构。激光共聚焦显微镜以及扫描电镜进行表征,结果表明微桥刻蚀区超导......
本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传......
微桥是微测辐射热计阵列像元的重要部分,经微细加工工艺制成的微桥结构常常发生弯曲变形,从而严重影响器件性能。利用有限元分析方法......
基于微机电系统(MEMS)技术,提出了一种光栅与法布里-珀罗(F-P)腔相结合的新型MEMS F-P滤波器结构,这种滤波器既能保证较宽的自由光......
作者作了如下一些研究工作.首先,作者测理了制备工艺较为成熟的HgBaCuO (Hg-1212)大块薄膜样品的1/f噪声,发现样品质量的好坏对样......
钙钛矿型锰氧化物材料因其电子、晶格、轨道、自旋之间的强关联相互作用,体系呈现出复杂多样的物理性质,如庞磁电阻效应和相分离现象......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
微桥是微测辐射热计阵列像元的重要部分,经微细加工工艺制成的微桥结构常常发生弯曲变形,从而严重影响器件性能。利用有限元分析方......
采用氧化钒薄膜、低应力介质膜和CMOS读出电路技术,研制了单片式128×1非致冷焦平面.氧化钒薄膜的制备采用了一种新的方法,焦平面......
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式......
针对传统的超声换能器在低频领域内存在频率较低的问题,设计了一种新型超声换能器微桥理论模型,并对该模型的力学行为进行分析研究......
通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系,辐射功率和桥面温升之间的线性关系,并利用ANSYS软件对线性关系......
利用硅单晶的各向异性腐蚀技术,研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺.采用独特的腐蚀装置在厚度为300μm的硅基片上成功地制备了腐蚀坑深......
VO2薄膜的电阻温度系数TCR(Temperature Coefficient of Resistance,用α表示)随温度改变会发生显著变化。因此,以VO2薄膜为热敏材料的......
精确测量热激励微梁(悬臂梁和桥)谐振器的厚度和残余应变对研究其谐振特性具有重要意义.由于组成谐振器的薄膜厚度远小于占优层厚......
通过 Sol- Gel方法和半导体工艺,制备出基于 Ba0.8Sr0.2TiO3( BST)薄膜的非致冷红外焦平面 阵列( UFPA)探测单元.用 ANSYS有限元分......
对热激励微梁谐振器的结构进行了合理的简化,用解析方法求出了交变热源激励的微悬臂梁和微桥谐振器的温度分布:在激励点附近,交变......
为了制备高性能铁电厚膜红外探测器,对硅材料的各向异性腐蚀机理及特性进行了探讨,开展了(100)硅片湿法各向异性腐蚀工艺研究。研究K......
采用RF溅射制备出Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜,剥离法制备出UFPA器件单元所需的图形化金属电极,TMAH溶液进行体硅腐蚀,并且使用保护胶和独特......
用AFM对高温超导Y1Ba2Cu3O7-δ薄膜微桥进行局部改性,形成非超导的微区.对形成的SNS结构测量了FV曲线.个别样品发现其l-V曲线对微......
可动部件是微机电系统(MEMS)工作的关键,微桥作为主要的可动部件,其动力学特性引起了研究人员的广泛关注.即使是设计精准的微桥结......
研究了用Mn-Co-Ni-O薄膜材料制备的热敏红外探测器件,并主要通过调控衬底热导改进了器件性能。对于较薄的探测元,研究了具有微桥结......
分析了微机械变形镜MEMS驱动器的种类及其特点,并在磁致伸缩薄膜具有低磁场下的大形变、低功耗、高响应速度等特性基础上,提出了超......
对薄膜力学性能的测试方法、技术以及所取得的主要成果进行简要的综合介绍...
采用氧化钒薄膜、低应力介质膜和CMOS读出电路技术,研制了单片式128×1非致冷焦平面.氧化钒薄膜的制备采用了一种新的方法,焦平面......
为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材......
本论文利用纳米压入仪和改造的电光天平对微机械材料的力学特性进行了测量。用纳米压入法对(100)单晶硅及(110)单晶硅、多晶硅薄膜......
本文基于VO2的热致相变特性,设计出由石墨烯、VO2、Si3N4等组成的微桥结构量热式生物传感器,优化了传感器的结构参数,研究了传感器......
基于MEMS技术制作的微Fabry-Perot可调谐滤波器在微型光谱仪、密集波分复用的光通信系统中有广泛的应用前景。与其他可调谐滤波器......
在最近的二十年中,热释电薄膜单片式非制冷红外探测器是非制冷红外探测器研究中的一大重点。随着热释电薄膜材料制备技术的不断改......
学位
本文研究了有机热释电红外焦平面阵列中的有机热释电薄膜制备、特性测试技术、热绝缘微桥结构建立等关键技术。其中,(1)主要讨论了......
设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器.通过调节压敏......
设计制作了一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器,其核心部分是一个电热激励/压敏电桥拾振的硅/二氧化硅微桥谐振器或微桥谐......
微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径......
基于磁电效应的磁电传感器具有灵敏度和分辨率高、室温工作、响应频率范围宽、功耗小、被动探测以及制备工艺简单等特点,是一种极......